CY-VT1000C-L型 CVD微波管式炉/CVD微波真空气氛管式炉

产品用途：

CY-VT1000C-L型 CVD微波管式炉/CVD微波真空气氛管式炉 是一款微波快速加热的气氛管式炉。具有真空、可控气氛及高温的实验环境。

适用于实验室烧结、熔化、元素分析、物理测定、新材料焙烧实验，也应用于半导体、纳米材料、碳纤维、荧光粉等工艺领域。

产品特点：

● 一体化设计、设备与真空气氛配套设备集成，安全方便

● 气路连接方式采用快速法兰，装料出料方便

● 国际品牌控制系统，稳定可靠

● 工业级微波系统，使用稳定寿命长

● 真空成型保温纤维轻质结构，节能高效

● 7寸大触摸屏操作，简单方便

● 非接触式加热，材料无污染

● 炉体及磁控管全部采用水冷，磁控管寿命长

● 预设4条工艺曲线，可适应不同产品工艺条件，随时保存及调出

● 炉内压力可控，设有压力过高报警，安全可靠

产品安全：

1、微波泄漏≤0.01mw/cm²（低于手机平均泄漏值）

2、报警：设备超温、磁控管超温、微波系统故障、压力过高报警

技术参数：

1、电压：380V±10V   50Hz

2、额定功率：8KW

3、微波功率：600-4200W   连续非脉冲微波发射，连续自动调整

4、微波频率：2.45Ghz

5、最高温度：1200℃

6、常用温度：≤1000℃

7、炉管直径：φ80mm

8、装料坩埚：φ70*250mm

9、测温方式：热电偶

10、测温范围：0-1300℃

11、控温精度：±1℃

12、气路数量：2（可根据用户要求配置）

13、炉内压力：≤0.1015Mpa，压力过高报警

14、极限真空度：100Pa

15、控制程序：手动、恒温、自控3种控温方式，带数据存储，导出实验数据；曲线实时显示，多段可设工艺参数，预存4组工艺，可直接调用和随时修改

16、控制方式：7寸触摸屏+PLC（国际品牌）

17、微波泄露：≤0.01mw/cm²，手持式微波捡漏仪随时检测

18、报警：设备超温、磁控管超温、微波系统故障、压力过高

19、气氛：抽真空，可通入空气、氧气、氮气等保护性气体，流量可控

20、设备尺寸：≤780×1200×1200mm(长×宽×高)

配置：

1、微波腔体：304不锈钢炉体1套、碳钢喷塑护罩1套、304不锈钢水冷法兰2套

2、微波加热系统：工业级水冷微波加热系统1套

3、保温系统：保温模块1套、炉管2根、微波专用耐材1套、料舟2个、堵头2个

4、控制系统：三菱品牌PLC 1件、7寸西门子触摸屏1件、测温装置1套

5、真空系统：压力计1套、真空泵1台、真空阀3个、真空接头法兰1套、管道1套

6、其他：流量计2只、操作手套1套、不锈钢料钩 1把、手持式微波检漏仪器1件

易损品（耗材）：

1、保温模块

2、炉管

3、料舟

4、堵头

5、耐材